Unser Präzisionskreuztisch LMSSA kommt für die optische Inspektion von Wafern in der Semiconductor-Branche zum Einsatz. Besonderheit ist die reinraumtaugliche Energieführung, die nahezu ohne Partikelbelastung für einen geräuscharmen Betrieb sorgt.
Der ausgelieferte Präzisionskreuztisch LMSSA basiert auf unseren Präzisionsachsen LMSSA, welchen wir als standardisiertes System in unserem Produktportfolio anbieten. Wichtigster Bestandteil und Individualisierungswunsch war die besondere Anforderung nach Partikelfreiheit zur Verwendung in einer reinraumtauglichen Applikationen. Zum Einsatz kommt deshalb ein flaches Kabelführungssystem aus Hochleistungskunststoff, das keinen sichtbaren Verschleiß aufweist sowie abriebfest ist. Die zu öffnenden Kammersysteme ermöglichen das einfache Tauschen oder Ergänzen flexibler Verseilelemente – mit oder ohne Stecker-, Stützketten oder Schläuche.
Unsere Präzisionssysteme – standardisierte Systeme die unkompliziert zu kundenspezifischen Applikationen angepasst werden können.
Anforderungen:
- Hohe Präzision
- Reinraumtaugliche Energieführung
- Begrenzter Bauraum
- Schnelle Reaktionszeit seitens Lieferant
HIWIN-Komponenten:
Einsatzgebiete:
